上海雷磁ZDJ-5B型自動滴定儀分析鋁蝕刻液成分應用方案

一、方案背景

蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術，應用廣泛，如用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版，儀器鑲板，銘牌等的加工，航空、機械、化學工業中電子薄片零件精密蝕刻產品的加工，半導體制程等方面。

鋁是半導體工藝中最主要的導體材料，具有低電阻、易于淀積和刻蝕等優點。鋁蝕刻液主要成分是磷酸、硝酸、醋酸及水，其中磷酸、硝酸、醋酸及水的組成比例會影響到蝕刻的速率，故需要對這種混酸溶液的成分進行分析。

二、測試原理

1、硝酸：在樣品中加入適量乙醇做溶劑，用四丁基氫氧化銨（TBAOH）滴定至終點，即可計算硝酸的含量。

2、醋酸和磷酸：在樣品中加入適量飽和氯化鈉溶液做溶劑，用氫氧化鈉溶液做滴定劑，出現兩個滴定終點。第一個終點是H3PO4和HNO3被耗盡時的終點，第二個終點是H2PO4-和HAc被耗盡時的終點，根據已知的硝酸含量，即可計算出磷酸及醋酸的含量。

三、檢測儀器

上海雷磁ZDJ-5B型自動滴定儀

四、分析方法

1、硝酸含量測試

在滴定杯內加入50mL無水乙醇，準確稱取一定質量的樣品置于滴定杯內，用 0.01mol/L TBAOH溶液做滴定劑進行電位滴定，終點電位突躍設置為20mV/mL。

2、醋酸和磷酸含量測試

在滴定杯內加入50mL飽和氯化鈉溶液。準確稱取一定質量的樣品置于滴定杯內，用0.5mol/L氫氧化鈉溶液做滴定劑進行電位滴定，終點電位突躍設置為100mV/mL。

五、分析注意事項

1、TBAOH標定時需要使用純水做鄰苯二鉀酸氫鉀的溶劑，而使用TBAOH測定硝酸時必須使用無水乙醇做溶劑，不要在滴定杯內加入水，否則不會出現顯著的滴定終點。

2、使用氫氧化鈉測定醋酸和磷酸時，需使用飽和氯化鈉溶液做溶劑，若使用純水做溶劑會出現假終點。

（內容來源上海雷磁網）